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[多项选择]干法蚀刻通常指利用辉光放电方式，产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有（）。
A. 离子、电子
B. 中性原子
C. 分子
D. 自由基
[单项选择]等离子体是一种（）。
A. 气体光源
B. 固体光源
C. 液体光源
D. 激光光源
[多项选择]等离子体法去钻污的特点是（）。
A. 成本高
B. 产量低
C. 去钻污很彻底
D. 适用于任何板材
[填空题]等离子弧是在电弧的（）放电过程中，是气体完全电离得到等离子体的。
[填空题]等离子体彩电出现图像方面的故障时，可通过等离子屏的（）来判断好坏。
[单项选择]下列哪种物品不适合采用过氧化氢等离子体灭菌：（）.
A. 电子仪器
B. 纱布
C. 光学仪器
D. 管腔≥3mm的金属器械
[填空题]产生等离子体的电力条件是（），无线电频率可从射频到VHF、微波范围内多种多样的频率，但目前射频等离子体CVD最普及。
[单项选择]对核聚变反应中的等离子体的约束途径有（）
A. 磁约束
B. 惯性约束
C. 安全岛约束
D. 磁约束与惯性约束
[单项选择]制备石英光纤有多种方法，其中等离子体化学气相沉积法的缩写是（）
A. PCVD
B. CVD
C. MCVD
D. AVD
[多项选择]影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面（）。
A. 等离子体蚀刻系统的形态
B. 等离子体蚀刻的参数
C. 光刻胶
D. 待蚀刻薄膜的淀积参数条件
[填空题]等离子体光源（ICP）具体有（），（）等优点。
