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[判断题]离子注入物质必须以带电粒子束或离子束的形式存在。
[判断题]离子注入中静电扫描的主要缺点是离子束不能垂直轰击硅片，会导致光刻材料的阴影效应，阻碍离子束的注入。
[简答题]电子束加工、离子束加工和激光加工各自的工作原理和应用范围如何？各有什么优缺点？
[简答题]电子束和离子束加工为什么必须在真空条件下进行？
[判断题]由于离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比离子束高，但表年粗糙度稍差。
[单项选择]离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成（）离子，并通过一个引出系统形成离子束。
A. 正
B. 负
C. 中性
D. 以上答案都可以
[判断题]偏车轮转向分为偏转前轮转向和偏转后轮转向两种。
[单项选择]离子束的引出系统的间接引出系统中，阳极和插入电极之间形成一个离子密度较（）的等离子体。
A. 低
B. 高
C. 均匀
D. 不均匀
[单项选择]便携式等离子束发生器喷枪工作电流类型为（）。
A. 直流电
B. 交流电
C. 220V交流电
D. 单相交流电AC220V/50HZ
[单项选择]下列四个选项中，哪个是离子束加工所具有的特点（）。
A. 加工中无机械应力和损伤
B. 通过离子撞击工件表面将机械能转化成热能，使工件表面熔化而去除工件材料
C. 工件表面层不产生热量，但有氧化现象
D. 需要将工件接正电位（相对于离子源）
[单项选择]离子束垂直进入均匀的正交磁场后，将同时受到电场力和（）的作用。
A. 洛仑兹力
B. 反向的电场力
C. 库仑力
D. 重力
[多项选择]按蒸发源加热方法的不同，真空蒸发工艺可分为：（）蒸发、（）蒸发、离子束蒸发等。
A. 电阻加热
B. 电子束
C. 蒸气原子
