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[判断题]干法刻蚀是亚微米尺寸下刻蚀器件的最主要方法，湿法腐蚀一般只是用在尺寸较大的情况下刻蚀器件，例如大于3微米。
[填空题]刻蚀剖面指的是（），有两种基本的刻蚀剖面（）刻蚀剖面和（）刻蚀剖面。
[多项选择]下列组合中哪一种基本上用于刻蚀前者的干刻蚀法大都可以用来刻蚀后者（）。
A. 二氧化硅氮化硅
B. 多晶硅硅化金属
C. 单晶硅多晶硅
D. 铝铜
E. 铝硅
[判断题]各向异性的刻蚀剖面是在所有方向上（横向和垂直方向）以相同的刻蚀速率进行刻蚀。
[单项选择]晶硅栅极刻蚀最大的挑战就是对二氧化硅的高选择性。超薄的（）使得在刻蚀多晶硅电极时对它的刻蚀要尽可能的小。
A. n型掺杂区
B. P型掺杂区
C. 栅氧化层
D. 场氧化层
[单项选择]多晶硅栅极刻蚀最大的挑战就是对（）的高选择性。超薄的栅氧化层使得在刻蚀多晶硅电极时对栅氧化层的刻蚀要尽可能的小。
A. 二氧化硅
B. 氮化硅
C. 单晶硅
D. 多晶硅
[单项选择]刻蚀要求在整个晶圆上有一个均匀的刻蚀速率，（）是在晶圆上由测量刻蚀过程前后特定点的厚度，并计算这些点的刻蚀速率而得到的。
A. 选择性
B. 均匀性
C. 轮廓
D. 刻蚀图案
[判断题]大马士革工艺的重点在于介质的刻蚀而不是金属的刻蚀。
[单项选择]硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。
[判断题]在刻蚀中用到大量的化学气体，通常用氟刻蚀二氧化硅。
[简答题]
采用CF4作为气体源对SiO2进行刻蚀，在进气中分别加入O2或H2对刻蚀速率有什么影响？随着O2或H2进气量的增加，对Si和SiO2刻蚀选择性怎样变化？为什么？
[判断题]对于大马士革工艺，重点是在于金属的刻蚀而不是介质的刻蚀。
[填空题]微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。
[简答题]哪种化学气体经常用来刻蚀多晶硅？描述刻蚀多晶硅的三个步骤。
[简答题]定义刻蚀速率并描述它的计算公式。为什么希望有高的刻蚀速率？
[多项选择]通常情况下，我们改变工艺条件使刻蚀进行中（）的刻蚀速率尽量低。
A. 光刻胶
B. 衬底
C. 表面硅层
D. 扩散区
E. 源漏区
[填空题]在干法刻蚀中发生刻蚀反应的三种方法是（）、（）和（）。
[判断题]高密度等离子体刻蚀机是为亚0.25微米图形尺寸而开发的最重要的干法刻蚀系统。
