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发布时间:2023-10-01 23:10:31

[填空题]光刻包括两种基本的工艺类型:负性光刻和(),两者的主要区别是所用光刻胶的种类不同,前者是(),后者是()。

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[名词解释]光刻
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[单项选择]一般意义上的产业政策手段基本包括()两种类型。
A. 间接干预和直接干预
B. 支持政策和限制政策
C. 扶植政策和排斥政策
D. 局部干预和全面干预
[简答题]光刻工艺的主要流程有哪几步?什么是光刻工艺的分辨率?从物理角度看,限制分辨率的因素是什么?最常用的曝光光源是什么?
[单项选择]光刻加工的工艺过程为:()
A. ①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗
B. ①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散
C. ①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原
[判断题]创新思维包括两种基本的思维形式:逻辑思维和非逻辑思维。
[单项选择]材料的永久形变有两种基本类型,以下哪种不属于该类型。()
A. 滞弹性变形和流动;
B. 塑性流动;
C. 粘性流动。
[判断题]光刻是集成电路制造工艺发展的驱动力。
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