[多项选择]在酸性氯化铜蚀刻过程出现抗蚀剂破坏的原因可能有（）。
A. 溶液温度过高
B. 溶液被污染
C. 显影有余胶
D. 传递速度过快

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[填空题]晶体硅片蚀刻清洗的生产工艺有酸性蚀刻和碱性蚀刻两种，其中酸性蚀刻是采用（）和硝酸的混合溶液，醋酸和磷酸当缓冲剂，一般去除约10-20µm厚的表面层。

[判断题]在酸性介质中，无机缓蚀剂的效率较低于有机缓蚀剂。

[判断题]能用酸性蚀刻液蚀刻的工件就绝对不用碱性蚀刻液。

[填空题]缓蚀剂一般分为（）缓蚀剂和（）缓蚀剂。

[判断题]缓蚀剂在酸性条件下效果较好。

[多项选择]属于酸性蚀刻液再生的方法有（）。
A. 氯气再生
B. 通氧气或压缩空气再生
C. 电解再生
D. 双氧水再生

[简答题]什么叫缓蚀剂？常见的有哪几类缓蚀剂？简要叙述各类缓蚀剂的防蚀原理和特点。

[判断题]所有金属抗蚀层都可适用碱性蚀刻液，大部分金属不可用酸性蚀刻液，金除外。

[名词解释]缓蚀剂

[名词解释]缓蚀剂防腐

[填空题]一般常用的缓蚀剂按照化学组成可分成无机缓蚀剂和（）两大类。

[简答题]什么叫缓蚀剂？常用的有哪几类？简要叙述各类缓蚀剂的防蚀原理和特点。

[判断题]刻蚀速率通常正比于刻蚀剂的浓度。

[填空题]按照缓蚀剂在金属表面形成保护膜的机理不同可将缓蚀剂分为（）膜型，（）膜型和（）膜型。

[判断题]酸性氯化铜蚀刻液的特点是蚀刻速率恒定，容易控制。

[判断题]酸性氯化铜蚀刻液用于蚀刻单面板和多层板的内层。

[简答题]注缓蚀剂中断的处理

[单项选择]循环水常用的药剂有混凝剂、（）缓蚀剂、阻垢剂、聚凝剂。
A. 杀菌剂
B. 破乳剂
C. 混合剂
D. 腐蚀剂

[多项选择]蚀刻过程中为使加速蚀刻反应正向进行的措施有（）。
A. 增加二价铜离子的浓度
B. 使一价铜生成配合物
C. 使一价铜生成沉淀
D. 减少二价铜离子的浓度

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