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[填空题]集成电路的特征尺寸是衡量集成电路加工工艺水平和（）的主要指标。
[判断题]根据人体某个特征尺寸，一般不能计算出其它各部位尺寸。
[简答题]什么是络合催化？络合催化的特征是什么？举例说明典型的络合催化工艺。
[单项选择]工艺要素标准化包括（）、工艺尺寸标准化、工艺余量标准化及工艺规程典型化。
A. 设备工装标准化；
B. 工艺方法标准化；
C. 计量器具标准化；
D. 工艺参数标准化。
[简答题]微电子器件的特征尺寸继续缩小的关键技术有哪些？
[判断题]芯片上的物理尺寸特征被称为关键尺寸，即CD。
[简答题]过烧经常产生在哪种热处理工艺过程中？其基本特征是什么？
[判断题]关键层是指那些线条宽度被刻蚀为器件特征尺寸的金属层。
[判断题]当气体分子的平均自由程大于泄露通道的特征尺寸时为分子流。
[单项选择]工艺余量标准可分通用工艺余量标准、工艺尺寸公差标准和（）。
A. 热处理标准；
B. 表面处理标准；
C. 下料标准；
D. 电镀标准。
[多项选择]装配尺寸链特征是（）。
A. 封闭外形
B. 一条直线
C. 尺寸偏差互相影响
D. 互不影响
E. 装配精度影响尺寸偏差
