[单选题]下列成膜方法中,对极限真空度要求最高的是( )。 (1 分)
A.银镜反应;
B.PECVD;
C.溅射镀膜;
D.蒸发镀膜;

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[单选题]那种工艺设备的极限真空度要求最高( )。 (1 分)
A.蒸发镀膜
B.PVD
C.PECVD
D.Etch

[判断题] ( )真空泵在给定条件下,经抽气达到稳定状态的最高压力称极限真空度。
A.正确
B.错误

[单选题]那种工艺设备的极限真空度要求最低( )。 (1 分)
A.PECVD
B.PVD
C.RTA
D.Etch

[单选题]真空泵的极限真空度是指( )。
A.正常工作时的真空度没
B.能抽出的气体压力
C.能达到的最高真空度
D.每小时能吸入的气体体积

[多选题]吸污车真空泵旋转时，真空度达到最高限度的原因是（）
A.单向阀气水分离器内积水
B.泵吸气管道堵塞
C.夹有异物
D.手柄定位有破损

[单选题]离心式制冷机组真空试验要求真空度在（）mmHg 。
A.700
B.600
C.800

[单选题]如果腔体有leak,将影响腔体的真空度。ZELDA设备生产最低要求真空度数量级
是( ) (1 分)
A.E-2
B.E-3
C.E-4
D.E-5

[判断题]真空泵在给定条件下，经抽气达到稳定状态的最低压力称极限真空度。判断是否正确？
A.正确
B.错误

[单选题]离心式制冷机组真空试验要求真空度保持时间为()h。
A.48
B.24
C.10

[单选题]离心式制冷机组真空试验要求真空度下跌不超过（）mmHg 。
A.2
B.5
C.15

[单选题]由于R407C由多种制冷剂混合而成，R407C对真空度的要求很高。须抽真空直到压力表显示系统的压力为（）。
A.-0.1MPa
B.-0.2MPa
C.-0.3MPa
D.-0.4MPa

[判断题]在制冷系统抽真空时，我们要求系统真空度达到133Pa以下。
A.正确
B.错误

[单选题] 真空泵分干式和湿式两大类。干式真空泵产生的真空度比湿式真空泵产生的真空度( )。
A.大小不一定
B.小
C.大
D.相等

[判断题]真空断路器断口之间的交流耐压试验，实际上是判断真空灭弧室的真空度是否符合要求的一种监视方法。（　　）。（GB 50150—2016《电气装置安装工程　电气设备交接试验标准》11.0.4条文说明）
A.正确
B.错误

[单选题]真空断路器要求波纹管既能保证动触头能做(),同时又不能破坏灭弧室的真空度。
A.直线运动
B.弧线运动
C.分合运动

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